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三乙基硅烷,是一種無色透明的有機硅中間體。外觀呈無色或淺棕色油狀液體;溶于大多數極性有機溶劑,經常在CH2Cl2中使用;密度0.728 g/mL(25°C),沸點107-108°C,閃點-39C。易水解,放出乙醇,生成相應的縮合物。也可由硅粉在銅催化劑存在下,與乙醇反應來制取。用來合成有機硅中間體及各種硅烷偶聯劑。也可以通過岐化反應制備高純硅烷氣體,或者用于制備有機-無機雜化材料。