三乙基硅烷，是一種無色透明的有機硅中間體。外觀呈無色或淺棕色油狀液體；溶于大多數極性有機溶劑，經常在CH2Cl2中使用；密度0.728 g/mL(25°C)，沸點107-108°C，閃點-39C。易水解，放出乙醇，生成相應的縮合物。也可由硅粉在銅催化劑存在下，與乙醇反應來制取。用來合成有機硅中間體及各種硅烷偶聯劑。也可以通過岐化反應制備高純硅烷氣體，或者用于制備有機-無機雜化材料。