三甲基氯硅烷是一種有機物，化學式為C3H9ClSi，分子量108.642，熔點-40℃，沸點57℃，閃點-18℃，折射率1.500，為無色透明液體，有刺激臭味，溶于苯、甲醇、醚、全氯乙烯，主要用作硅酮油制造的中間體、憎水劑、分析用試劑，制備硅酮樹脂、硅橡膠、高溫粘合劑等的原料；還用作高分子化合物封頭劑、干燥劑、脫水劑、高溫粘合劑及樹脂的原料，用于生產各種有機硅化合物，是生產六甲基二硅氮（胺）烷和六甲基二硅氧烷的主要原料。