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六甲基二硅氮烷,英文縮寫HMDS,是一種重要的有機硅化合物,無色透明液體。易水解,分子式C6H19NSi2,熔點-78℃,沸點125℃,溶于有機溶劑,與空氣接觸會迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚,在催化劑存在下,與醇或酚反應,生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應,放出NH3或NH4Cl,生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷與NH3反應來制取。用作氣相法白炭黑表面疏水處理劑及有機合成反應中提供N原子的試劑,還可用作碳化硅纖維的助劑,提高碳化硅纖維的耐熱性和強度,還可用作涂料的防沉淀劑。并用于制備有機硅化合物。