六甲基二硅氮烷，英文縮寫HMDS，是一種重要的有機硅化合物，無色透明液體。易水解，分子式C6H19NSi2，熔點-78℃，沸點125℃，溶于有機溶劑，與空氣接觸會迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚，在催化劑存在下，與醇或酚反應，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷與NH3反應來制取。用作氣相法白炭黑表面疏水處理劑及有機合成反應中提供N原子的試劑，還可用作碳化硅纖維的助劑，提高碳化硅纖維的耐熱性和強度，還可用作涂料的防沉淀劑。并用于制備有機硅化合物。